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離子注入機形成適應不同溫度段全系列產品格局! | 裝備名片

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什么是裝備擔當?

 

是聚焦國家所需、矢志奮斗的胸懷,

60余年的艱苦奮斗

從無到有填補多個產業(yè)鏈空白

 

是瞄準行業(yè)所趨、一茬接著一茬干的毅力

從單臺到整線

打造行業(yè)“單項冠軍”占領價值鏈高端

 

是回應職工所期,上下同欲、攻無不克的決心

在高效協(xié)同中集智攻關

實現科技實力從量的積累到質的飛越的轉變

 

電科裝備特別策劃《裝備名片》系列欄目,

集中展示一批拳頭產品

與您一同領略

高水平科技自立自強的裝備華章

 

 

發(fā)展國產裝備,鑄就國芯基石

電科裝備 爍科中科信

離子注入機是通過對半導體材料表面進行某種元素的離子注入摻雜,從而改變其特性的設備,芯片的性能、穩(wěn)定性、良品率及壽命都和離子注入這一工序密切相關。北京爍科中科信打通了從技術研發(fā)、產品定型到批量生產的離子注入機產業(yè)化通道,實現了從單臺設備集成到全系列產品布局的跨越,產品線覆蓋中束流、大束流、高能機、特種、化合物半導體等,已實現全系列離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋,形成了包括低溫、常溫、高溫不同溫度段注入的全系列離子注入機產品格局,具備生產邏輯、存儲、功率器件、傳感器等工藝器件的能力,切實保障產業(yè)鏈、供應鏈的韌性和穩(wěn)定。